篇名 | Analysis and performance exploration of high performance (HfO2) SOI FinFETs over the conventional (Si3N4) SOI FinFET towards analog/RF design | ||
来源期刊 | 半导体学报(英文版) | 学科 | |
关键词 | |||
年,卷(期) | 2018,(12) | 所属期刊栏目 | |
研究方向 | 页码范围 | 68-74 | |
页数 | 7页 | 分类号 | |
字数 | 语种 | 英文 | |
DOI | 10.1088/1674-4926/39/12/124002 |