硅基集成Mach-Zehnder干涉仪的制备与性能研究

• 作者: 洪建勋 洪忆霄
• 来源期刊: 应用物理
• 学科: 工学
• 关键词: 硅基波导 干涉仪 波导光栅耦合器 光谱
• 年，卷（期）: 2018,（2）
• 页码范围: 110-115
• 页数: 6页
• 分类号: TN2

摘要

硅基集成波导是光电子集成的一个重要平台,硅基集成Mach-Zehnder干涉仪是光滤波器、光开关、光调制器和波导传感器的一种重要形式。本文对硅基集成Mach-Zehnder干涉仪的设计、制备和性能测量进行了研究,通过仿真计算优化了波导耦合光栅的耦合效率,采用电子束直写技术和离子刻蚀技术实现了波导的高精度制备。测试结果显示器件的性能优良,端对端的传输损耗优于?10 dB,干涉仪的干涉输出对比度达到了32 dB,自由频谱范围为2.275 nm。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	洪建勋	武汉理工大学信息工程学院	9	50	3.0	7.0
2	洪忆霄		1	0	0.0	0.0