大口径光学元件瞬态波前检测

• 作者: 孙沁园 孟诗 张瑞 朱文华 陈磊
• 来源期刊: 光电工程
• 学科: 工学
• 关键词: 光学测量 点衍射干涉仪 大口径 瞬态波前
• 年，卷（期）: 2018,（1）
• 所属期刊栏目: 科研论文
• 页码范围: 56-62
• 页数: 7页
• 分类号: TH74|O436.1
• 字数: 3000字
• 语种: 中文
• DOI: 10.12086/oee.2018.170536

摘要

为瞬态测量大口径光学元件波前,提出一种基于斜入射结构的近红外反射式错位点衍射干涉原理的Φ400 mm瞬态波前检测方法.该方案将待测光分成两束互相错位的参考光与测试光,从而在干涉图中引入高线性载频,采集到对比度良好的干涉图后,利用傅里叶变换相位解调法从单幅干涉图中提取待测波前相位,实现瞬态波前动态测量.实验光路总长近20 m,极易受气流的影响,且由于气流干扰随时间变化,该系统本身可以看作是大口径光学元件瞬态波前发生与检测装置.测试结果与SID4波前传感器比较,波前均方根(RMS)小于1/50 λ,可知所提方法可以实现大口径瞬态波前的高分辨率与高精度检测.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈磊	南京理工大学电子工程与光电技术学院	133	991	16.0	23.0
2	孙沁园	南京理工大学电子工程与光电技术学院	4	9	2.0	3.0
3	朱文华	南京理工大学电子工程与光电技术学院	22	28	3.0	4.0
4	张瑞	南京理工大学电子工程与光电技术学院	5	12	3.0	3.0
5	孟诗	南京理工大学电子工程与光电技术学院	2	4	1.0	2.0