玉米蛋白质基底上射频磁控溅射法制备ZnO薄膜

• 作者: 初学峰 周路 杨小天 杨帆 王欢 王超 迟耀丹 郭亮 闫兴振 高晓红
• 来源期刊: 发光学报
• 学科: 工学
• 关键词: 氧化锌薄膜 玉米蛋白膜 磁控溅射 X射线衍射 光致发光谱
• 年，卷（期）: 2018,（10）
• 所属期刊栏目: 器件制备及器件物理
• 页码范围: 1431-1438
• 页数: 8页
• 分类号: TN209
• 字数: 3505字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/fgxb20183910.1431

摘要

采用射频磁控溅射方法在蛋白质基底上成功地制备了ZnO薄膜,研究了不同靶基距、氩氧比和溅射功率条件对ZnO薄膜性质的影响.结果表明,较小的靶基距有助于ZnO薄膜的c轴择优取向生长.我们还发现,沉积于玉米蛋白质基底的ZnO薄膜存在不同程度的张应力,当Ar/(Ar+O2)为0.7时,ZnO薄膜内的张应力最小.ZnO近带边发光峰有不同程度的红移,我们认为,这是由于晶界势垒和氧空位Vo造成的.随着溅射功率的增大,薄膜生长速率显著加快,晶粒尺寸增大,ZnO的近带边发光峰位逐渐趋向于理论值.