利用小周期蛾眼结构提高红外材料抗反射特性的研究

• 作者: 付跃刚 王海涛 耿安兵 董亭亭 陈驰
• 来源期刊: 光学与光电技术
• 学科: 工学
• 关键词: 严格耦合波分析 蛾眼 小周期微纳结构 反射率 抗反射特性
• 年，卷（期）: 2018,（3）
• 所属期刊栏目: 光学设计
• 页码范围: 84-89
• 页数: 6页
• 分类号: O485|TN305
• 语种: 中文

摘要

在亚波长区(λ/n＜(A)＜λ)具有较低反射率和零级透射率,然而在小周期区((A)＜λ/n)具有低反射率和透射率.因此,基于严格耦合波分析(RCWA)理论,以硅基底仿生小周期蛾眼微纳结构为例,设计并分析了针对该结构反射率及透射率的影响因素,如占空比、刻蚀深度、周期等,并给出了最优化参数组合.在制作过程中采用电子束刻蚀及剥离技术进行掩模图形的光刻,然后经过反应离子刻蚀得到所需深度.最后,应用原子力显微镜进行结构形貌表征,红外光谱仪测试得到该结构反射率在7％左右,透射率约为69％～93％.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	付跃刚	长春理工大学光电工程学院	106	456	10.0	15.0