超薄锗片粘蜡工艺研究

• 作者: 王云彪 田原 耿莉 陈雅楠
• 来源期刊: 电子工艺技术
• 学科: 工学
• 关键词: 超薄锗片 抛光片 粘蜡 表面形变 吸头
• 年，卷（期）: 2018,（5）
• 所属期刊栏目: 新工艺 新技术
• 页码范围: 297-300
• 页数: 4页
• 分类号: TN605
• 字数: 3189字
• 语种: 中文
• DOI: 10.14176/j.issn.1001-3474.2018.05.013

摘要

超薄锗片是制作多结空间太阳能电池的主要衬底材料,随着空间卫星技术的不断发展,对高质量超薄锗抛光片的需求量正在逐年增加.粘蜡抛光是获得高平整度抛光片的主要手段,也是未来超薄大尺寸锗单晶片加工的必然选择.从涂蜡参数、烘烤条件、翻转吸头和压头参数影响等方面,研究蜡层厚度及均匀性和粘蜡后表面形变问题,通过调整参数,重新设计翻转吸头,确定了适合超薄锗片的粘蜡工艺,获得了高平整度的锗抛光片.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	田原	中国电子科技集团公司第四十六研究所	17	24	3.0	4.0
2	耿莉	中国电子科技集团公司第四十六研究所	5	7	1.0	2.0
3	王云彪	中国电子科技集团公司第四十六研究所	18	49	4.0	5.0
4	陈雅楠	中国电子科技集团公司第四十六研究所	1	0	0.0	0.0