厚度对MEMS换能元薄膜电阻率的影响研究

• 作者: 任炜 倪德彬 尹明 张彬 李慧 王可暄 褚恩义
• 来源期刊: 火工品
• 关键词: MEMS换能元 金属薄膜 尺度效应 电阻率
• 年，卷（期）: 2018,（1）
• 所属期刊栏目: 研究报告
• 页码范围: 49-53
• 页数: 5页
• 分类号: TJ450.1
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-1480.2018.01.012

摘要

为完善微机电系统(Micro Electro-Mechanical Systems,MEMS)火工品薄膜换能元设计理论,减小微尺度下换能元参数的设计误差,保证设计电阻及 MEMS 火工品的作用性能,理论分析了微尺度下薄膜电阻率的影响因素,采用磁控溅射进行了不同材料(Al、W、Cr、Ni-Cr)、不同微纳米厚度(<2μm)薄膜的制备,并对不同厚度薄膜的电阻率参数进行表征,揭示了微纳尺度下电阻率的尺度效应规律,获得了相应的拐点数据.