高功率微波等离子体环境下甲烷浓度对金刚石膜的影响

• 作者: 余军火 汪建华 罗凯 翁俊
• 来源期刊: 化工学报
• 关键词: 甲烷 高微波功率 微波等离子体 化学气相沉积
• 年，卷（期）: 2018,（z2）
• 所属期刊栏目: 材料化学工程与纳米技术
• 页码范围: 505-511
• 页数: 7页
• 分类号: TQ164
• 语种: 中文
• DOI: 10.11949/j.issn.0438-1157.20181169

摘要

在实验室自制的10 kW微波等离子体化学气相沉积装置中,分析了高功率微波等离子体环境中甲烷浓度对金刚石膜生长的影响.利用等离子体发射光谱诊断分析高功率微波等离子体放电环境的特征,同时利用SEM及Raman光谱对不同沉积条件下获得的金刚石膜的形貌及质量进行表征,以确定高功率微波等离子体环境下金刚石膜生长的最优甲烷浓度范围.实验表明在保持微波功率为5000 W,CH4/H2≤1％时,金刚石膜中二次形核现象明显,晶粒尺寸较小;CH4/H2≥2.5％时,金刚石膜可获得较大的晶粒,但易于产生孪晶体;CH4/H2=1.5％～2％时,可获得晶粒完整且质量较高的金刚石膜.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	汪建华	武汉工程大学湖北省等离子体化学与新材料重点实验室	123	698	14.0	19.0
2	翁俊	武汉工程大学湖北省等离子体化学与新材料重点实验室	33	102	4.0	8.0
3	余军火	武汉工程大学湖北省等离子体化学与新材料重点实验室	2	2	1.0	1.0
4	罗凯	武汉工程大学湖北省等离子体化学与新材料重点实验室	2	2	1.0	1.0