激光斜入射角度对衍射对刀精度的影响

• 作者: 史国权 张玉石 王金雨 石广丰
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 工学
• 关键词: 激光衍射 对刀间隙 激光斜入射 倾斜角度
• 年，卷（期）: 2018,（1）
• 所属期刊栏目: 光电系统
• 页码范围: 100-104
• 页数: 5页
• 分类号: TH16
• 语种: 中文
• DOI: 10.16818/j.issn1001-5868.2018.01.021

摘要

激光衍射对刀是通过检测激光衍射条纹峰值点间距来进行对刀间隙测量的方法.但是检测装置中装夹误差的存在会使得入射激光相对于成像光轴呈现斜入射状态,进而对对刀间隙检查结果及对刀精度产生影响.为了研究斜入射角度对衍射对刀精度的影响规律,建立了激光斜入射的衍射光强计算模型和峰值点间距误差的计算模型,进而给出了激光斜入射角度计算模型;理论结合实验分别提出了通过检测中央衍射条纹光强峰值点位置和两个一级衍射条纹峰值点间距综合进行激光斜入射角度校正的方法;根据具体实验工艺条件,确定了入射激光的最佳倾斜角度工艺调整范围,为有效提高激光衍射对刀精度提供了依据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	石广丰	长春理工大学机电工程学院	69	202	6.0	11.0
2	史国权	长春理工大学机电工程学院	88	340	9.0	15.0
3	张玉石	长春理工大学机电工程学院	7	6	1.0	2.0
4	王金雨	长春理工大学机电工程学院	3	0	0.0	0.0