调制周期对TiCrN/WN多层膜结构与力学性能的影响

• 作者: 刘宸宇 吴萍 李德军 王明霞
• 来源期刊: 天津师范大学学报（自然科学版）
• 学科: 物理学
• 关键词: 磁控溅射 TiCrN/WN多层薄膜 调制周期 机械性能
• 年，卷（期）: 2018,（6）
• 所属期刊栏目: 物理与材料科学
• 页码范围: 11-14,20
• 页数: 5页
• 分类号: O484.2
• 字数: 3097字
• 语种: 中文
• DOI: 10.19638/j.issn1671-1114.20180603

摘要

为了研究调制周期对TiCrN/WN多层薄膜结构与力学性能的影响,采用超高真空射频磁控溅射系统在Si(100)基底表面制备了一系列TiCrN/WN多层薄膜,利用X线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、纳米压痕仪和表面轮廓仪等分析TiCrN/WN多层膜的结构特征以及硬度、应力和弹性模量等机械性能.结果表明:TiCrN/WN多层膜具有周期性良好的调制结构,调制界面清晰.调制周期的改变对TiCrN/WN多层膜的结构和机械性能影响较大.当调制周期∧=25 nm时,多层膜体系表现出较强的W2N(111)和TiCrN(111)择优取向.此时,多层膜的硬度和弹性模量均达到最大值,分别为40.84 GPa和408.85 GPa.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王明霞	天津师范大学物理与材料科学学院	15	45	5.0	5.0
3	李德军	天津师范大学物理与材料科学学院	73	242	7.0	11.0
4	吴萍	天津大学理学院	23	263	9.0	16.0
5	刘宸宇	天津师范大学物理与材料科学学院	2	0	0.0	0.0