Trimmer工艺参数对切割效果的影响

• 作者: 乔律华 刘涛 吴松 李俊峰 王贺卫
• 来源期刊: 液晶与显示
• 学科: 工学
• 关键词: 显示面板 激光焊切机 工艺参数 切割效果
• 年，卷（期）: 2018,（8）
• 所属期刊栏目: 材料与器件
• 页码范围: 661-668
• 页数: 8页
• 分类号: TP391.4
• 字数: 3205字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/YJYXS20183308.0661

摘要

激光焊切机(Trimmer)是显示面板(TFT-LCD)工业中不可或缺的设备,其作用是利用激光束切除显示面板上的Shorting Bar结构.Trimmer切割效果对于后工段良率有很大影响,因此研究Trimmer的工艺参数对切割效果的影响对于提升产品良率具有重要意义.本工作首先通过实验探究激光单脉冲能量E、激光频率f、切割速度u、加工光斑沿切割方向的边长a等工艺参数对于某款165 cm(65 in)产品的切割效果的影响,然后深入分析了Trimmer的切割机理,提出了囊括所有工艺参数的变量“ε”,然后通过实验给出了对于膜厚为0.45 μm的Cu材质Shorting Bar,Trimmer激光单脉冲能量必须在7 mJ以上,ε在400 mJ/mm2以上,Trimmer可以将Shorting Bar切除干净,并且得出ε与表征切割效果的参量ω之间的函数关系,证实了e值对于切割效果的影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	乔律华		1	0	0.0	0.0
2	刘涛		1	0	0.0	0.0
3	李俊峰		1	0	0.0	0.0
4	吴松		1	0	0.0	0.0
5	王贺卫		1	0	0.0	0.0