基于栅格样版正交方向扫描的精准测量

• 作者: 傅云霞 孟凡娇 赵军 邵力 雷李华
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 栅格标准样版 图像畸变 正交扫描方向角 误差修正方法 纳米测量系统
• 年，卷（期）: 2018,（11）
• 所属期刊栏目: 加工、测量与设备
• 页码范围: 824-830
• 页数: 7页
• 分类号: TN305.6
• 语种: 中文
• DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2018.11.008

摘要

作为横向标准样版,栅格标准样版被广泛应用于校准各类显微镜测头的放大倍率以及图像畸变,因此,对栅格样版的精准测量是保证测量仪器量值准确传递的基础.提出了一种基于双角度偏转原理的快速、精确定位一维栅格结构的正交扫描方向角的提取方法,并通过模型转换实现了二维栅格结构的“行方向”、“列方向”正交扫描方向角提取的拓展;分析了一维和二维光栅结构的误差修正方法,通过集成的原子力显微镜(AFM)测头和激光共聚焦测头(LFS)的计量型纳米测量系统对栅格标准样版进行了多次重复性测量.结果表明,正交扫描方向角的有效提取,能大大提高周期性栅格结构的评价精度和准确性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵军		87	315	10.0	14.0
2	邵力		15	23	2.0	4.0
3	傅云霞		30	86	6.0	7.0
4	雷李华		15	48	4.0	6.0
6	孟凡娇		1	0	0.0	0.0