气体放电等离子体及应用的研究进展

• 作者: 王昊 石峰
• 来源期刊: 真空与低温
• 学科: 物理学
• 关键词: 气体放电 直流放电 射频放电 介质阻挡放电 容性耦合射频放电 等离子体应用
• 年，卷（期）: 2018,（2）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 80-85
• 页数: 6页
• 分类号: O53
• 字数: 5315字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-7086.2018.02.002

摘要

由于气体放电在材料处理、热核聚变、环境净化以及等离子体推力器等各个前沿科学领域中具有广泛的应用.为了推动气体放电及等离子体理论与应用技术的研究和发展,综述了近年来各种典型气体放电机理的发展.分析了直流辉光放电、介质阻挡放电、大气压辉光放电、电子回旋共振放电、容性耦合射频放电的国内外研究现状,最后介绍了气体放电等离子体的应用领域.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	石峰	河南理工大学物理与电子信息学院	12	14	2.0	3.0
2	王昊	河南理工大学物理与电子信息学院	12	12	2.0	3.0