基于磁流变技术的微孔内壁抛光装置研制及性能研究

• 作者: 伊福廷 刘静 周悦 张天冲 王波 王雨婷
• 来源期刊: 表面技术
• 学科: 工学
• 关键词: 磁流变技术 微孔内壁抛光 抛光装置 磁感应强度 粗糙度
• 年，卷（期）: 2018,（6）
• 所属期刊栏目: 表面质量控制及检测
• 页码范围: 252-257
• 页数: 6页
• 分类号: TG580.692
• 语种: 中文
• DOI: 10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2018.06.036

摘要

目的 基于磁流变技术研制适用于微孔内壁抛光的装置.方法 利用磁流变抛光液的性质,借鉴传统的抛光原理,设计并研制了适用于微孔内壁抛光的抛光装置,并对该装置进行了一系列的性能研究.基于该微孔内壁抛光装置对多孔镍样品及平片硅样品进行了不同条件下的抛光研究,并对抛光结果进行了分析.结果 此抛光装置的性能研究结果表明,该装置产生的交变磁场均匀、稳定,符合模拟预期,可用于进一步的样品抛光研究.利用此抛光装置,虽然在多孔镍样品的抛光上没有较为明显的效果,但平片硅样品的粗糙度却由1.24 nm下降至0.56 nm,具有较大改善.在平片硅样品的抛光研究中,进一步发现随着时间的增加,其粗糙度不断下降.结论 自行搭建的基于磁流变技术的微孔内壁抛光装置可对平片硅进行抛光.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘静	中国科学院高能物理研究所	279	2786	26.0	43.0
2	周悦	中国科学院高能物理研究所	20	214	10.0	14.0
6	王波	中国科学院高能物理研究所	103	761	14.0	24.0
7	伊福廷	中国科学院高能物理研究所	38	150	6.0	10.0
8	张天冲	中国科学院高能物理研究所	2	2	1.0	1.0
9	王雨婷	中国科学院高能物理研究所	1	0	0.0	0.0