激光改性硅酸盐玻璃表面局域制备金属铜层

• 作者: 侯田江 刘建国 曾晓雁 艾骏
• 来源期刊: 激光技术
• 学科: 工学
• 关键词: 激光技术 表面改性 脉冲紫外激光刻蚀 硅酸盐玻璃
• 年，卷（期）: 2018,（2）
• 所属期刊栏目: 激光与光电子技术应用
• 页码范围: 176-180
• 页数: 5页
• 分类号: TQ171.71+8
• 字数: 3539字
• 语种: 中文
• DOI: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2018.02.007

摘要

为了实现普通硅酸盐玻璃表面的金属化,利用波长为355nm的脉冲紫外激光刻蚀粗化活化,并结合化学镀,在其表面局域制备出了导电金属铜层.研究了激光加工参量对玻璃表面微观形貌、粗糙度、刻蚀深度的影响规律,并在玻璃表面成功引入了钯元素.结果表明,当第1次紫外激光扫描速率为200mm/s、脉冲频率为100kHz、能量密度为27J/cm2~37J/cm2和填充间距在10μm左右时,玻璃表面可以获得的刻蚀深度在25μm~35μm之间,刻蚀区域的粗糙度Ra在6μm~7μm之间,此时玻璃不会开裂;而第2次激光的能量密度在9J/cm2~11J/cm2之间时(其余参量不变),钯元素的引入实现了化学镀铜,此时铜层和玻璃之间的平均结合强度可以达到10MPa以上,铜层的体积电阻率可以达到10-6Ω·cm数量级.这是一种具有局域选择性、无需掩模、低成本、高结合强度和良好导电性的玻璃表面金属化工艺.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	曾晓雁	华中科技大学武汉光电国家实验室激光与太赫兹技术功能实验室	144	2006	25.0	36.0
2	刘建国	华中科技大学武汉光电国家实验室激光与太赫兹技术功能实验室	117	790	13.0	21.0
3	艾骏	华中科技大学武汉光电国家实验室激光与太赫兹技术功能实验室	3	8	1.0	2.0
4	侯田江	华中科技大学武汉光电国家实验室激光与太赫兹技术功能实验室	1	8	1.0	1.0