离子辐照的316L不锈钢中空洞密度的定量化电子显微镜测试

• 作者: 付新 张崇宏 杨义涛 贾荣光 马通达
• 来源期刊: 科学通报
• 关键词: 透射电子显微镜 会聚束电子衍射 离子辐照 316L奥氏体不锈钢
• 年，卷（期）: 2018,（1）
• 所属期刊栏目: 材料科学
• 页码范围: 89-97
• 页数: 9页
• 语种: 中文
• DOI: 10.1360/N972017-00855

摘要

316L奥氏体不锈钢经过高剂量氦注入及高能铁离子辐照后,产生高密度空洞.本文采用聚焦离子束(FIB)技术从辐照后的316L不锈钢试样上制备出透射电子显微镜(TEM)样品,通过TEM定量分析样品薄区的空洞密度及分布状态,进而计算出样品的辐照肿胀率.该定量表征结果的准确性依赖于样品薄区厚度的精确测量.然而,Kelly和Allen早期提出的基于会聚束电子衍射(CBED)的膜厚测量技术无法直接应用于TEM样品较薄微区的厚度测量(厚度＜0.6ξg,ξg为衍射束-g对应的消光距离).本文提出对同一样品较厚区域CBED花样进行测量拟合出特定衍射束的消光距离,再将该参数应用于待测薄区同一取向CBED花样的测量结果,从而估算样品薄区的厚度.讨论了CBED方法相对于电子能量损失谱(EELS)方法在透射样品厚度测量上的优势.以离子辐照后的316L不锈钢样品薄区厚度测量及空洞密度定量分析为实例,探讨了本文所提出的基于CBED技术的薄区厚度测量方案在实验过程中的主要影响因素及优化途径.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张崇宏	中国科学院近代物理研究所	50	169	7.0	11.0
2	杨义涛	中国科学院近代物理研究所	27	72	5.0	7.0
3	马通达	中国科学院近代物理研究所	2	4	1.0	2.0
4	付新	中国科学院近代物理研究所	1	0	0.0	0.0
5	贾荣光	中国科学院近代物理研究所	1	0	0.0	0.0