半导体级高纯双氧水中痕量杂质元素的检测

• 作者: 蔡畅 陈黎明
• 来源期刊: 上海计量测试
• 关键词: 半导体级高纯双氧水 检测 杂质元素
• 年，卷（期）: 2018,（3）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 21-23
• 页数: 3页
• 字数: 1834字
• 语种: 中文

摘要

用高分辨电感耦合等离子体质谱测定半导体级高纯双氧水中的痕量金属杂质,用直接稀释法,把高纯双氧水稀释10倍后,用标准加入法进行上机检测,前处理简单、快速,避免了在样品前处理时的污染问题.高分辨电感耦合等离子体质谱可以消除多分子离子干扰,降低检出限,提高定量准确性.方法的检出限为0.34~15.36 ng/L,加标法回收率为90.1%~102.5%.方法简单,结果可靠,适用于高纯双氧水中痕量元素的快速测定.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈黎明		25	84	6.0	8.0
2	蔡畅		4	13	2.0	3.0