阳极层离子源的发展及应用

• 作者: 冉彪 李刘合
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 阳极层离子源 电磁场 等离子体 表面改性
• 年，卷（期）: 2018,（5）
• 页码范围: 51-57
• 页数: 7页
• 分类号: TN305.8
• 语种: 中文
• DOI: 10.13385/j.cnki.vacuum.2018.05.11

摘要

阳极层离子源结构简单,束流密度大,离子能量可控,在大面积表面改性处理方面具有独特的优势,还可应用于离子束辅助沉积、基片刻蚀和表面清洗等领域.本文回顾了阳极层离子源的起源和发展历程,介绍了阳极层离子源的工作原理和研究现状,讨论了阳极层离子源的电磁场的设计、电磁场模拟和气体放电模拟等关键设计方法,概述了阳极层离子源的应用现状,并对阳极层离子源的发展和应用前景进行了展望.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李刘合	北京航空航天大学机械工程及自动化学院	39	653	12.0	25.0
2	冉彪	北京航空航天大学机械工程及自动化学院	3	0	0.0	0.0