硅基平面微雷管设计研究

• 作者: 任小明 刘兰 刘卫 张凡 薛艳 解瑞珍
• 来源期刊: 火工品
• 关键词: 微雷管 换能元 发火电压 集成
• 年，卷（期）: 2018,（1）
• 所属期刊栏目: 研究报告
• 页码范围: 20-22
• 页数: 3页
• 分类号: TJ45+2
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-1480.2018.01.005

摘要

针对MEMS安全保险机构的发展对起爆单元平面化的需求,利用SOI片特有的三层结构,开展了硅基平面微雷管的设计研究.以SOI片的外延硅作为平面微雷管原位装药用专用电极,提升了微雷管结构与原位装药工艺的兼容性.以SOI片的本体硅作为装药腔体层,减少了微雷管的轴向尺寸,提高集成度.性能试验表明该硅基平面微雷管实现了发火及起爆下级装药的功能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	解瑞珍	陕西应用物理化学研究所应用物理化学重点实验室	12	27	3.0	5.0
2	薛艳	陕西应用物理化学研究所应用物理化学重点实验室	10	27	3.0	5.0
3	任小明	陕西应用物理化学研究所应用物理化学重点实验室	8	24	3.0	4.0
4	刘兰	陕西应用物理化学研究所应用物理化学重点实验室	7	18	2.0	4.0
5	张凡	陕西应用物理化学研究所应用物理化学重点实验室	3	1	1.0	1.0
6	刘卫	陕西应用物理化学研究所应用物理化学重点实验室	4	1	1.0	1.0