扫描电镜能谱仪谱峰鉴别方法

• 作者: 卢慧粉 孙秋香 宋庆军 李丹丹
• 来源期刊: 理化检验-物理分册
• 学科: 工学
• 关键词: 能谱仪 谱峰鉴别 假峰 重叠峰
• 年，卷（期）: 2018,（10）
• 所属期刊栏目: 试验技术与方法
• 页码范围: 754-756
• 页数: 3页
• 分类号: TH89
• 字数: 2491字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11973/lhjy-wl201810009

摘要

简单介绍了扫描电镜附带的X射线能谱仪(EDS)的工作原理及应用;主要介绍了能谱仪分析中常出现的谱峰鉴别问题:假峰和重叠峰;重点介绍了假峰和重叠峰的鉴别方法,假峰一般仪器可自动识别,重叠峰可通过四种方法来鉴别:提高加速电压、利用多条谱线进行鉴别,利用谱图重构功能、增加采集时间的方法进行鉴别,通过计算实际和理论的峰高比进行鉴别,通过定量优化的方法进行确认鉴别.正确地鉴别能谱峰,可提高能谱仪定性、定量分析的精度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	宋庆军		14	19	2.0	4.0
2	李丹丹		7	14	2.0	3.0
3	孙秋香		13	19	2.0	4.0
4	卢慧粉		6	18	2.0	4.0