不同温度下同质外延生长单晶金刚石的应力分析

• 作者: 丁康俊 任昱霖 宋修曦 耿传文 马志斌
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 同质外延 单晶金刚石 应力 化学气相沉积
• 年，卷（期）: 2018,（5）
• 页码范围: 942-947
• 页数: 6页
• 分类号: O78
• 字数: 4179字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-985X.2018.05.010

摘要

本文利用微波等离子体化学气相沉积法(MPCVD)对不同温度区间下同质外延单晶金刚石的应力作出了相关研究,讨论了不同温度区间下单晶金刚石内部产生应力的原因.结果表明在低温区间(700～ 720℃)与高温区间(870 ～890℃)下生长金刚石内部均产生裂纹,总应力以本征应力为主,且以拉应力形式呈现.低温区间(700～720℃)下由于内部石墨杂质的生成使之产生过大的拉应力,而高温区间(870 ～890℃)下则是由于单晶金刚石生长面多晶点的出现导致拉应力集中从而产生裂纹.在合适的温度区间(770 ～830℃)下能同质外延生长出无裂纹高质量的单晶金刚石,总应力较小且热应力为主,以压应力形式呈现.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马志斌	武汉工程大学材料科学与工程学院湖北省等离子体化学与新材料重点实验室	58	189	7.0	10.0
2	任昱霖	武汉工程大学材料科学与工程学院湖北省等离子体化学与新材料重点实验室	3	6	2.0	2.0
3	丁康俊	武汉工程大学材料科学与工程学院湖北省等离子体化学与新材料重点实验室	4	11	2.0	3.0
4	宋修曦	武汉工程大学材料科学与工程学院湖北省等离子体化学与新材料重点实验室	4	11	2.0	3.0
5	耿传文	武汉工程大学材料科学与工程学院湖北省等离子体化学与新材料重点实验室	6	7	1.0	1.0