基于压电驱动的多指微操作工具及实验研究

• 作者: 刘会聪 孙立宁 孟凯 杨湛 陈涛
• 来源期刊: 压电与声光
• 学科: 工学
• 关键词: 微纳操作器 微机电系统 压电驱动器 柔性操作器 多指执行器
• 年，卷（期）: 2018,（1）
• 页码范围: 42-46
• 页数: 5页
• 分类号: TN384|TP241.3
• 字数: 2602字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11977/j.issn.1004-2474.2018.01.010

摘要

针对目前微纳操作对微纳操作工具的需求,设计并制造了一种结构简单、柔性模块化、高精度的压电驱动的多指微操作工具.通过实验验证了该多指微操作工具在单指、双指及三指工作模式下均能良好地完成相应的微纳操作,操作成功率在85％以上,夹持范围为10～800 μm.通过改变执行末端,调整操作策略,可完成对不同尺寸、材质、结构的微球的拾取与释放.同时,使用多指微操作工具完成微球组装与超显微成像微球操作实验,证明了该操作工具具有重要的实际应用意义.