微流控惠斯通电桥式通用流阻测量方法

• 作者: 仉乐 吴雯婷 孔梅梅 梁忠诚 赵瑞
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 工学
• 关键词: 微流体学 数值模拟 测量 惠斯通桥 流阻
• 年，卷（期）: 2018,（1）
• 所属期刊栏目: 材料、结构及工艺
• 页码范围: 81-85
• 页数: 5页
• 分类号: TN25
• 语种: 中文
• DOI: 10.16818/j.issn1001-5868.2018.01.017

摘要

标准化是微流控系统的发展趋势,很多器件需要精确的流量控制和传输.因此,准确地表征和测量芯片功能模块的流体阻力具有重要的应用价值.提出了一种类比于惠斯通电桥测量不同流阻大小的器件,该器件将一个芯片内的膜阀视为可变流阻器,与待测器件并联.通过施加不同的压力,控制膜阀的开口度,保持桥平衡,直接计算获得待测芯片的流阻大小.仿真计算发现,其测量范围达到4个数量级,误差控制在3％以内.结果表明,微流控惠斯通电桥是测量流阻的有效方法,可以根据不同的应用环境,设计不同的尺寸和结构,以满足特定需要.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	梁忠诚	南京邮电大学光电工程学院	86	385	10.0	15.0
2	赵瑞	南京邮电大学光电工程学院	29	169	8.0	12.0
3	吴雯婷	南京邮电大学光电工程学院	8	25	3.0	4.0
4	仉乐	南京邮电大学光电工程学院	8	30	3.0	5.0
5	孔梅梅	南京邮电大学光电工程学院	14	49	5.0	6.0