强化统计分析算法应用:提升晶圆加工铸锭品质管控水平

• 作者: 柯顺魁
• 来源期刊: 材料科学
• 学科: 经济
• 关键词: 晶圆 规范化 晶棒 品质管控 预警反馈
• 年，卷（期）: clkx_2018,（4）
• 页码范围: 253-257
• 页数: 5页
• 分类号: F4

摘要

为有效提升晶圆制造企业的铸锭加工品质管控水平,在数理统计分析方法和信息技术的基础上,建立适用于晶圆制造企业的铸锭加工品质管控反馈控制解决方案,包括:自动化的晶圆铸锭数据采集、规范化的铸锭品质管控方法和铸锭良率预警反馈应用三个方面。通过上述方法的应用,有望将晶圆制造企业原有的抽样静态品质管控方法铸锭管理方法升级为自动化、标准化和实时反馈控制方法,从而从根本上提升晶圆制造企业铸锭加工品质管控水平。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	柯顺魁		5	2	1.0	1.0