碳酰氟研究的最新进展

• 作者: 李峰 柴华 王民涛 赵新堂
• 来源期刊: 低温与特气
• 学科: 工学
• 关键词: 碳酰氟 制备技术 反应设备 纯化技术 应用研究 专利分析
• 年，卷（期）: 2018,（1）
• 所属期刊栏目: 综述评论
• 页码范围: 4-9
• 页数: 6页
• 分类号: TQ117
• 字数: 4866字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-7804.2018.01.002

摘要

碳酰氟是一种环保性能优良、最具潜力的半导体设备清洗和蚀刻材料.作为电子气体的新宠,其制备方法、反应设备、纯化技术、应用研究等被业界广泛关注.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李峰		8	23	2.0	4.0
2	赵新堂		8	24	2.0	4.0
3	王民涛		3	0	0.0	0.0
4	柴华		9	4	1.0	2.0