离轴非球面的条纹反射检测技术

• 作者: 刘海涛 周敏 宋伟红 肖向海 赵文川
• 来源期刊: 光电工程
• 学科: 工学
• 关键词: 光学面形检测 离轴非球面 条纹反射测量技术 光线追迹
• 年，卷（期）: 2018,（7）
• 所属期刊栏目: 科研论文
• 页码范围: 29-36
• 页数: 8页
• 分类号: TN247
• 字数: 3449字
• 语种: 中文
• DOI: 10.12086/oee.2018.170663

摘要

条纹反射测量技术具有动态范围大、灵敏度高的特点,通过高精度的系统标定可以获得很高的测量精度.本文研究将条纹反射测量技术应用于离轴非球面反射镜粗抛光阶段的面形检测,使用激光跟踪仪建立检测系统坐标系,然后将相机和显示屏的实测标定数据代入坐标系并在Zemax软件中建立测量装置的理想模型,通过光线追迹得到理想的屏幕像素点位置,采用相移技术可以得到实测时屏幕像素点位置,从而计算得到被测镜面形的斜率误差,最后积分得到检测结果.文中采用该方法对一块SiC离轴非球面镜进行了实测,并与三坐标测量机的结果进行对比,验证了方法的可行性,可用于指导离轴非球面镜粗抛光阶段的加工.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘海涛	中国科学院光电技术研究所先进光学研制中心	121	805	17.0	22.0
2	周敏	中国科学院光电技术研究所先进光学研制中心	22	86	5.0	8.0
3	宋伟红	中国科学院光电技术研究所先进光学研制中心	3	15	2.0	3.0
4	赵文川	中国科学院光电技术研究所先进光学研制中心	6	47	4.0	6.0
5	肖向海	中国科学院光电技术研究所先进光学研制中心	1	4	1.0	1.0