压电双晶梁MEMS传感器的稳健设计研究

• 作者: 李丰 王通尘 谭晓兰
• 来源期刊: 压电与声光
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统(MEMS)传感器 压电双晶梁 PZT压电薄膜 随机模型 稳健设计
• 年，卷（期）: 2018,（1）
• 页码范围: 33-37
• 页数: 5页
• 分类号: TN384|TP212.1
• 字数: 3435字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11977/j.issn.1004-2474.2018.01.008

摘要

微机电系统(MEMS)传感器结构参数的微小变差会影响其性能稳定.为提高MEMS传感器性能的稳健性,以压电双晶梁MEMS传感器为例,根据Smits模型,分析压电双晶梁的设计变量和噪声因素的随机性,建立基于随机模型的稳健设计数学模型;编制算法程序,确定MEMS传感器的最优设计解结果优于原设计方案.对比其稳健设计容差模型所得优化解,两者误差率为6.17％,验证了稳健设计结果的正确性.研究表明,即使设计变量存在变差,稳健设计仍能提高MEMS传感器的性能,并保证设计解的稳健性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谭晓兰	北方工业大学机械与材料工程学院	38	251	8.0	15.0
2	李丰	北方工业大学机械与材料工程学院	1	1	1.0	1.0
3	王通尘	北方工业大学机械与材料工程学院	1	1	1.0	1.0