离子减薄仪技术改进及功能开发

• 作者: 姜大强 杨峰 焦淑静 薛东川
• 来源期刊: 应用物理
• 学科: 工学
• 关键词: 离子减薄 氩离子抛光 功能开发 页岩 孔隙 扫描电镜
• 年，卷（期）: 2018,（5）
• 页码范围: 234-239
• 页数: 6页
• 分类号: TG14

摘要

离子减薄仪是一种用来制备透射电镜样品的设备,其原理是利用被电离的氩离子轰击样品表面,从而使样品减薄,达到透射电镜观察要求。页岩中的微孔隙及微裂缝是页岩气储存空间及流通通道,有重要的研究价值,然而页岩中的孔隙微小,多为纳米级,用传统的制样方法很难观察到。国外一些研究人员采用氩离子抛光制样方法,成功地观察到了页岩中的纳米级孔隙,由于国内当时还没有此类设备,我们把我实验室原有的离子减薄仪进行开发,成功地实现了氩离子抛光的功能,满足了科研需求。