六氟丁二烯的制备、纯化及应用

• 作者: 夏致远 孙猛 张友圣 金向华 金小贤
• 来源期刊: 低温与特气
• 学科: 工学
• 关键词: 六氟1,3-丁二烯 制备 纯化 应用 市场
• 年，卷（期）: 2018,（1）
• 所属期刊栏目: 特气制备
• 页码范围: 26-29
• 页数: 4页
• 分类号: TQ117
• 字数: 2519字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-7804.2018.01.006

摘要

六氟丁二烯作为干法刻蚀气体,相对于传统的全氟刻蚀气,具有环境友好,刻蚀精度高、选择性好等优点.对六氟丁二烯的制备、纯化及应用做了简要介绍,并对其工业化生产现状做了简单描述.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	金小贤		2	3	1.0	1.0
2	夏致远		2	3	1.0	1.0
3	张友圣		1	1	1.0	1.0
4	孙猛		4	7	2.0	2.0
5	金向华		7	11	2.0	2.0