用FPGA实现二维压电扫描镜的磁滞补偿

• 作者: 梁增基 罗栋 陈四海
• 来源期刊: 压电与声光
• 学科: 工学
• 关键词: 压电扫描镜 磁滞效应 开环补偿 现场可编程门阵列 位置敏感探测器
• 年，卷（期）: 2018,（1）
• 页码范围: 28-32
• 页数: 5页
• 分类号: TN384|TP273.1
• 字数: 2900字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11977/j.issn.1004-2474.2018.01.007

摘要

针对二维压电扫描镜中压电陶瓷的磁滞效应,根据Madelung规则和汝长海等的理论建立模型,采用精确计算目标偏转后位置对应的输出电压方法,补偿磁滞带来的扫描角度非线性问题.首先测得主磁滞环的电压-位移曲线,存入FLASH中构造磁滞对应表;然后,利用现场可编程门阵列(FPGA)具有的强大时序处理能力和高速运算能力精确地进行算法处理,补偿压电陶瓷的磁滞效应;最后,通过D/A模块输出结果,配合外围电压放大电路控制扫描镜的精确偏转.测试平台主要由He-Ne激光器、扫描镜、位置敏感探测器(PSD)和NI数据采集卡等搭建而成,用LabVIEW编写测试程序,可以直接测量扫描镜的偏转角度信息.校正前压电扫描镜偏转角度的最大误差为2.5 mrad,开环补偿算法校正后成功地将偏转误差控制在0.3mrad内,磁滞效应的校正取得了理想的效果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	梁增基	华中科技大学光学与电子信息学院	1	0	0.0	0.0
2	陈四海		1	0	0.0	0.0
3	罗栋	华中科技大学武汉光电国家实验室	1	0	0.0	0.0