非He气态检漏工质漏率转化为He标准漏率的可行性

• 作者: 田梅 郑军芳 高鸿恩
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 浓度法 检漏 SF6 Xe He标准漏率
• 年，卷（期）: 2018,（3）
• 所属期刊栏目: 真空技术与理论
• 页码范围: 186-192
• 页数: 7页
• 分类号: TB774
• 字数: 5700字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2018.03.04

摘要

以纯He、及一定浓度He、Xe、SF6与N2的混合气体示漏,研究了将浓度检漏法获得的非氦示漏气体漏率转化为He标准漏率的可行性.研究结果表明,对于纯粘滞流和纯分子流,依据现有的理论,通过粘滞系数、压力、温度、分子质量等参数的校正,可以进行不同示漏气体间漏率的转换.但由于He分子直径小,与其它示漏气体分子显著不同,即便在相同漏孔、相同压力条件,其流动状态也可能存在差异,进而影响计算结果的准确性.对于过渡流,由于其流动状态的复杂性,可以按照分子流和粘滞流漏率转换方法界定漏孔He标准漏率的范围.对于粘滞流,相同压力条件下不同示漏气体漏率的差异主要由气体粘滞系数引起,采用混合气体示漏时各组分具有相同的泄漏速率;当漏孔中气流处于过渡流或分子流时,混合气体各组分会出现不同的泄漏速率,当气流为分子流状态时,各组分泄漏速率差异达到最大.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	田梅		10	31	4.0	5.0
2	高鸿恩		13	30	3.0	4.0
3	郑军芳		11	42	3.0	6.0