一种基于超材料的常温太赫兹探测器

• 作者: 任伟 吴伟 周志涛 李昕欣 柳克银 郑发明 郭聪 陶虎
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 太赫兹探测器 超材料 电学读取 绝热结构 太赫兹时域光谱仪(THz TDS)
• 年，卷（期）: 2018,（11）
• 所属期刊栏目: 器件与技术
• 页码范围: 777-782,788
• 页数: 7页
• 分类号: TL814
• 语种: 中文
• DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2018.11.001

摘要

基于超材料结构设计、制造并表征了一款工作在2.5 THz频率下的常温太赫兹探测器,该探测器上电场耦合电感电容(ELC)结构的超材料谐振子阵列吸收太赫兹辐射后,将电磁能转换为热能,温度升高后引起超材料谐振子结构中铂金属环的电阻变化,通过检测阻值变化实现对太赫兹波的电学读取探测.将该探测器集成到通过MEMS工艺制作的微悬臂梁绝热结构上,实现了较好的隔热效果,从而提高了探测器的响应率.通过太赫兹时域光谱仪(THz TDS)测试该探测器的透射谱,验证了该探测器的吸收峰为2.5 THz,达到了设计要求.进一步测试结果显示,该探测器在2.5 THz工作频率下的响应率达到2.149×105Ω/W,滚降频率达到10 Hz.