MEMS压电水听器和矢量水听器研究进展

• 作者: 任伟 李俊红 马军 魏建辉
• 来源期刊: 应用声学
• 学科: 工学
• 关键词: 微电子机械系统 水听器 ZnO薄膜 灵敏度
• 年，卷（期）: 2018,（1）
• 所属期刊栏目: 汪承灏院士八十生辰学术论文
• 页码范围: 101-105
• 页数: 5页
• 分类号: TN384
• 字数: 2448字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11684/j.issn.1000-310X.2018.01.015

摘要

基于微电子机械系统制造技术的MEMS 压电水听器和矢量水听器具有小型化、低功耗、低成本、易成阵、无源、噪音低等优点.对基于ZnO薄膜的MEMS水听器和矢量水听器进行了研究,测试结果表明,硅微压电水听器的灵敏度为?192 dB(ref. 1 V/μPa),基本达到实用化的要求.MEMS压电矢量水听器等效声压灵敏度为?229.5 dB(ref. 1 V/μPa),比同类型压阻式MEMS矢量水听器的灵敏度高17 dB,但还未达到实用化要求.为了进一步提高MEMS矢量水听器的灵敏度,设计了具有U形槽的压电复合悬臂梁结构和电极串联结构,采用具有更高压电系数的掺钒ZnO薄膜作为压电层,并对MEMS制备工艺进行了改进,有望显著提高MEMS矢量水听器的灵敏度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李俊红	中国科学院声学研究所	30	72	5.0	8.0
2	马军	中国科学院声学研究所	71	550	13.0	20.0
3	任伟	中国科学院声学研究所	21	73	5.0	8.0
4	魏建辉	中国科学院声学研究所	6	57	3.0	6.0