基于真空环境的位移传感器校准系统精度研究

• 作者: 任国营 叶颖谦 朱呈吉 李伟仙 范乃胤 董一凡
• 来源期刊: 计量学报
• 学科: 工学
• 关键词: 计量学 真空 位移传感器 校准 精度
• 年，卷（期）: 2018,（z1）
• 所属期刊栏目: 几何量计量
• 页码范围: 62-65
• 页数: 4页
• 分类号: TB92
• 字数: 2089字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-1158.2018.z1.13

摘要

介绍了基于真空环境下位移传感器静态校准系统原理及其精度验证.传统的位移传感器校准装置和方法都在大气环境下进行,影响因素较多,测量精度也不易提高.该装置通过刚性传动装置,使真空中的位移与空气中的位移保持一致,由位移传感器测得空气中的位移值,由单频激光干涉仪通过迈克尔逊光学系统测得真空中的位移,两者之差,即是传感器的示值误差.最后,按照JJF 1305-2011的校准要求,对被测传感器进行了精度校准.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李伟仙		28	141	6.0	11.0
2	任国营		11	47	3.0	6.0
3	范乃胤		11	6	2.0	2.0
4	叶颖谦		1	0	0.0	0.0
5	朱呈吉		1	0	0.0	0.0
6	董一凡		1	0	0.0	0.0