基于微弯曲法的微梁力学性能测试

• 作者: 张侦英 张宏翔 李波 李龙星 郭志明
• 来源期刊: 机械工程与技术
• 学科: 医学
• 关键词: MEMS器件 微弯曲 力学性能 微梁 弹性模量
• 年，卷（期）: 2018,（4）
• 页码范围: 267-277
• 页数: 11页
• 分类号: R73

摘要

针对微梁结构的MEMS器件,基于微力传感探针模块、Femto Tools微操纵模块、CCD光学显微摄像头搭建的微弯曲法力学测试系统,采用微弯曲法,实现了对某SOI基“扭梁 + 悬臂梁”结构的微梁力学性能测试,提出测试系统自身形变所引起的系统误差的消除方法,通过建立微梁的力学模型,结合实测数据计算出该微梁的弹性模量为152.62 GPa,为微器件的设计仿真提供实测参数。