光波导平整度优化工艺

• 作者: 庄治学 张莹 肖垣明 赵飞 陈雨
• 来源期刊: 电子工艺技术
• 学科: 工学
• 关键词: 光波导 平整度 附着力 光刻
• 年，卷（期）: 2018,（6）
• 所属期刊栏目: 微组装技术
• 页码范围: 322-324,335
• 页数: 4页
• 分类号: TN405
• 字数: 2862字
• 语种: 中文
• DOI: 10.14176/j.issn.1001-3474.2018.06.003

摘要

为推进光传输器件的实用化,提升聚合物光波导传输特性,梳理了聚合物光波导的工艺流程.分析了影响光波导传输特性的平整度问题,通过基板覆铜及研磨抛光、基板附着力增强、光波导旋涂控制和光波导曝光控制等关键技术的突破,解决了基板平整度、胶层附着力和光波导光刻控制等问题,获得了表面和侧壁粗糙度均低的聚合物光波导.通过测试,结果能满足使用要求,具有良好的应用前景.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	肖垣明		4	13	2.0	3.0
2	张莹		16	47	4.0	6.0
3	赵飞		25	77	5.0	7.0
4	庄治学		1	1	1.0	1.0
5	陈雨		2	3	1.0	1.0