车削掩檬的石英非球面微透镜阵列制作方法

• 作者: 张东 张为国 朱国栋 王灏 董连和
• 来源期刊: 光电工程
• 学科: 物理学
• 关键词: 掩模 石英玻璃 非球面微透镜阵列 金刚石车削 反应离子刻蚀
• 年，卷（期）: 2018,（4）
• 所属期刊栏目: 科研论文
• 页码范围: 72-77
• 页数: 6页
• 分类号: O439
• 字数: 2730字
• 语种: 中文
• DOI: 10.12086/oee.2018.170671

摘要

为解决石英非球面微透镜阵列加工所面临的工艺可控性差且面型精度不高这两大难点,提出了一种基于车削掩模刻蚀的石英玻璃元件制作方法.该方法主要使用了单点金刚石车削加工技术与反应离子刻蚀技术,研究了掩模村料车削及刻蚀性能,并利用实验优选出掩模村料,最后进行了面积为5 mm×5 mm石英玻璃非球面微透镜阵列的制备.通过实验结果与预期参数进行对比,分析表明,该方法制作的石英玻璃元件误差均方根为1.155 nm,面型精度误差0.47%.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张东	中国科学院重庆绿色智能技术研究院微纳制造与系统集成研究中心	40	297	9.0	16.0
2	董连和	长春理工大学光电工程学院	45	151	7.0	11.0
3	张为国	中国科学院重庆绿色智能技术研究院微纳制造与系统集成研究中心	6	18	3.0	4.0
4	王灏	长春理工大学光电工程学院	1	1	1.0	1.0
8	朱国栋	中国科学院重庆绿色智能技术研究院微纳制造与系统集成研究中心	1	1	1.0	1.0