基于磁梯度场超高分辨的高灵敏加速度传感方法

• 作者: 刘俊 唐军 王磊 郭浩
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 加速度传感方法 磁梯度场 聚二甲基硅氧烷(PDMS)薄膜 重力梯度
• 年，卷（期）: 2018,（3）
• 所属期刊栏目: MEMS与传感器
• 页码范围: 172-177
• 页数: 6页
• 分类号: TP212|TH703
• 语种: 中文
• DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2018.03.005

摘要

报道了一种基于永磁体磁梯度场超高分辨检测机理的加速度传感方法.实验中,通过在聚二甲基硅氧烷(PDMS)柔性薄膜材料中心上表面嵌入永磁体,固定PDMS薄膜周边,悬空永磁体结构,制备了悬臂梁式永磁体质量块结构.通过仿真得到永磁体磁梯度场线性分布区域,并在磁梯度场线性分布区域固定磁检测单元,通过检测永磁体在加速度作用下的微位移引起的磁场变化,实现对加速度信息的传感检测.静态测试结果表明在0.866g～1g的测试范围内,加速度传感灵敏度为4.68 Gs/g,加速度的检测分辨能力近似为93μg.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘俊	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	181	1162	17.0	24.0
2	唐军	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	64	114	5.0	9.0
3	郭浩	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	11	5	1.0	1.0
4	王磊	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	15	34	3.0	5.0