六氟丁二烯的合成工艺分析

• 作者: 曹伟
• 来源期刊: 有机氟工业
• 关键词: 六氟丁二烯 电子蚀刻气体 合成 三氟氯乙烯
• 年，卷（期）: 2018,（4）
• 所属期刊栏目: 专论与综述
• 页码范围: 33-36
• 页数: 4页
• 语种: 中文

摘要

六氟丁二烯是一种温室效应低、蚀刻性能好的新型电子气体,应用前景较好.它的合成工艺多而繁杂,对此进行了梳理,从合成关键中间体的角度进行了归纳,提出了进一步研究的方向.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	曹伟		3	0	0.0	0.0