多晶硅产品中磁性物质成分及来源控制

• 作者: 徐远志 杨芃 王世松 顾国宝
• 来源期刊: 云南冶金
• 学科: 工学
• 关键词: 磁性物质 成分 多晶硅
• 年，卷（期）: 2018,（2）
• 所属期刊栏目: 金属材料与加工
• 页码范围: 74-77
• 页数: 4页
• 分类号: TM914.4+1
• 字数: 2595字
• 语种: 中文

摘要

改良西门子法生产多晶硅产品后处理工艺操作中,会引入Fe、Co、Ni、Cr、Zn等成分磁性物质,该磁性物质会随着多晶硅产品进入到下游铸锭工艺中,最终演变成为多晶硅产品中的体金属杂质,影响下游产品质量.目前,国内多数厂家产品中都会检测到磁性物质存在,已经成为一个共性问题,急需解决.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐远志		3	1	1.0	1.0
2	杨芃		2	0	0.0	0.0
3	王世松		1	0	0.0	0.0
4	顾国宝		1	0	0.0	0.0