铜基薄膜太阳能电池窗口层ZnO膜的制备及性能研究

• 作者: 刘超前 文斌 柴卫平 董金龙
• 来源期刊: 山西大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: ZnO薄膜 磁控溅射 基底温度 氧氩比
• 年，卷（期）: 2018,（4）
• 所属期刊栏目: 化学
• 页码范围: 787-793
• 页数: 7页
• 分类号: TN305.92
• 字数: 3181字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13451/j.cnki.shanxi.univ(nat.sci.).2017.12.29.001

摘要

文章基于脉冲直流磁控溅射技术,在普通钠钙玻璃上沉积ZnO薄膜,主要研究了沉积过程中基底温度和O2/(O2 +Ar)流量比对ZnO薄膜的结构,表面形貌,光电性能的影响.结果表明,所沉积的ZnO薄膜均为六方纤锌矿结构,且沿c轴方向择优生长.此外,所制备的ZnO薄膜在可见光区城的平均透过牟均超过了90％.随着基底温度的升高,ZnO薄膜的颗粒尺寸和RMS粗糙度呈升高趋势,薄膜的载流子浓度没有明显的变化,载流子迁移率则呈增大趋势.随着O2/(O2+Ar)比值的升高,ZnO薄膜的结晶状态没有明显改变,薄膜中载流子浓度逐渐降低.通过调节基底温度和O2/(O2+Ar)比值可以优化ZnO薄膜的光电特性,以便更好应用于铜基薄膜太阳能电池的窗口层.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	董金龙	太原师范学院化学系	46	106	6.0	7.0
3	柴卫平	大连交通大学材料科学与工程学院	13	42	4.0	5.0
6	文斌	太原师范学院化学系	2	3	1.0	1.0
10	刘超前	大连交通大学材料科学与工程学院	1	3	1.0	1.0