CoSiB/Pd多层膜垂直各向异性及热稳定性的研究

• 作者: 俱海浪 刘帅 卢学鹏 息剑峰 李宝河
• 来源期刊: 稀有金属
• 学科: 物理学
• 关键词: CoSiB/Pd多层膜 反常霍尔效应 垂直磁各向异性 有效各向异性常数
• 年，卷（期）: 2018,（10）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 1054-1059
• 页数: 6页
• 分类号: O469
• 字数: 3704字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13373/j.cnki.cjrm.XY18010046

摘要

采用磁控溅射方法在玻璃基片上制备了以Pd为底层的CoSiB/Pd多层膜样品,利用反常霍尔效应研究了多层膜垂直磁各向异性(perpendicular magnetic anisotropy,PMA)及薄膜的热稳定性.实验中改变了样品周期层中各层的厚度和周期数,结果表明这些变化对反常霍尔效应有着重要的影响.本实验通过对这些参数的调节获得了最佳多层膜样品结构Pd(3)/[CoSiB(0.5)/Pd(0.8)]2,周期层中CoSiB和Pd的最佳厚度分别为0.5和0.8 nm,最佳周期数为2.根据最佳样品的磁滞回线,计算得出该样品的有效各向异性常数Keff为9.0×104 J·m-3,说明样品具有良好的PMA性能.之后又对Pd(3)/[CoSiB(0.5)/Pd(0.8)]2进行了热稳定性分析,由于适当的退火有利于提高样品的结晶度,结果发现样品在200℃退火1h之后的Keff提高到了9.6×104J·m-3,样品的PMA性能得到了进一步的提高.而退火温度超过300℃时,由于高温破坏了多层膜界面,导致其PMA明显变差.该样品的总厚度为5.6 nm,完全满足制备垂直磁结构材料的厚度要求.这些特点使其有利于作为自由层应用到磁隧道结构中.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李宝河	北京工商大学理学院	43	158	6.0	9.0
2	俱海浪	北京工商大学理学院	14	46	4.0	6.0
3	刘帅	北京工商大学理学院	8	6	1.0	2.0
4	卢学鹏	北京工商大学理学院	2	1	1.0	1.0
5	息剑峰	北京工商大学理学院	2	1	1.0	1.0