nA级离子泵电流测量系统的设计

• 作者: 孙前刚 张彦
• 来源期刊: 真空电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 静电陀螺仪 离子泵 STM32 nA级电流
• 年，卷（期）: 2018,（4）
• 所属期刊栏目: 真空器件理论与研究
• 页码范围: 54-57
• 页数: 4页
• 分类号: TN107
• 字数: 2642字
• 语种: 中文
• DOI: 10.16540/j.cnki.cn11-2485/tn.2018.04.12

摘要

静电陀螺仪正常工作时,高真空度的维持是其重要的静态条件.本文从热阴极离子泵的工作原理出发,通过测量离子流的大小,来监测静电陀螺仪内部的真空度;提出了一种基于STM32的测量系统,包括两级放大调理电路、高精度ADC和STM32单片机,并就其nA级电流测量的软硬件电路设计作出了详细说明.