基于UMAC的液体静压导轨定位精度补偿技术研究

• 作者: 刘强 刘震 周富林 邓利松
• 来源期刊: 机械
• 学科: 工学
• 关键词: UMAC 静压导轨 激光干涉仪 定位精度 误差补偿
• 年，卷（期）: 2018,（7）
• 所属期刊栏目: 制造业信息化
• 页码范围: 72-76
• 页数: 5页
• 分类号: TG659
• 字数: 2611字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-0316.2018.07.017

摘要

为了消除系统外产生的误差因素,提高液体静压导轨的定位精度,从而使超精密数控机床的加工精度得到提高,搭建UMAC运动控制器、TRUST线性驱动器以及上位机的硬件平台.通过雷尼绍激光干涉仪,测量静压导轨在全闭环控制下的定位精度,建立误差补偿表,利用UMAC定位精度补偿功能对液体静压导轨定位精度进行实时软件补偿.测试结果表明:基于UMAC误差补偿功能使液体静压导轨的定位精度得到了有效提高,定位精度达到±0.6 μm,最终结果达到预期效果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘强	广东工业大学机电学院	68	324	10.0	13.0
2	刘震	广东工业大学机电学院	3	14	2.0	3.0
3	周富林	广东工业大学机电学院	1	1	1.0	1.0
4	邓利松	广东工业大学机电学院	1	1	1.0	1.0