金属过渡层类型对非晶碳膜结构性能的影响

• 作者: 刘林林 孙丽丽 李蕾 柯培玲 汪爱英 郭鹏
• 来源期刊: 无机材料学报
• 学科: 工学
• 关键词: 海水 类石墨非晶碳膜(GLC) 金属过渡层 电子能量损失谱(EELS)
• 年，卷（期）: 2018,（3）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 331-338
• 页数: 8页
• 分类号: TH117
• 字数: 4194字
• 语种: 中文
• DOI: 10.15541/jim20170217

摘要

采用直流磁控溅射技术制备不同金属过渡层(Cr, Ti, W)的类石墨非晶碳膜(GLC), 研究过渡层类型对非晶碳膜微结构的影响, 并考察其在人工海水中摩擦性能的变化.研究结果表明: Cr/GLC薄膜sp2杂化键含量最高, 沿GLC表面到铬碳界面方向, sp2杂化键含量逐渐增大, Ti过渡层和W过渡层的sp2杂化键含量变化不明显.Cr/GLC薄膜较高的 sp2杂化键含量有助于其在摩擦过程中产生可以充当润滑相的石墨化转化摩擦转移膜.在三种涂层中, Cr/GLC薄膜表现出最高的腐蚀电位–0.16 V和最低的腐蚀电流密度4.42×10–9A/cm2.因此相较于Ti, W作过渡层的GLC薄膜, Cr/GLC薄膜在海水环境下表现出优异的摩擦学特性.