光学真空镀膜机抽气系统结构优化设计

• 作者: 刘旸 刘欣宁 吴会营
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 真空镀膜 真空抽气系统 真空系统设计 真空室
• 年，卷（期）: 2018,（2）
• 页码范围: 42-44
• 页数: 3页
• 分类号: TB43|TH138.9
• 语种: 中文
• DOI: 10.13385/j.cnki.vacuum.2018.02.11

摘要

多年来,在真空镀膜生产中,镀膜后工件表面污点的出现,造成废品率偏大的问题,一直是困扰该行业的一大难题.分析可能产生此问题各种原因,提出解决此问题的思路和方案,对真空室抽气系统结构进行优化设计.通过镀膜试验验证,优化设计的结构,很好的解决了工件表面污点的产生,降低了工件的废品率和生产成本,从结构原理上得到彻底的解决,证明新结构设计的正确性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘旸		19	12	2.0	2.0
2	吴会营		3	0	0.0	0.0
3	刘欣宁		14	19	3.0	4.0