氧化铝导模共振效应滤波器的分析研究

• 作者: 张伟 张雨茜 张雪花 胡芳仁 郭俊宏 陆志成
• 来源期刊: 光通信研究
• 学科: 工学
• 关键词: 亚波长光栅 导模共振 氧化铝 可调谐滤波器
• 年，卷（期）: 2018,（5）
• 所属期刊栏目: 光电器件研究与应用
• 页码范围: 52-55
• 页数: 4页
• 分类号: TN713
• 字数: 2551字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13756/j.gtxyj.2018.05.010

摘要

根据等效介质理论和严格耦合波理论,提出了可见光波段下基于氧化铝材料的亚波长导模共振光栅滤波器的理论设计与仿真方法.利用 Rsoft软件分别仿真分析强调制和弱调制下的氧化铝光栅反射光谱,并探讨了光栅周期(400~420 nm)、占空比(0.2~0.8)和光栅厚度(117~367 nm)等结构参数的改变对光栅光谱特性的影响.仿真结果表明,氧化铝光栅在610 nm波长处具有优秀的滤波效果:旁带<3%,半高宽(FWHM)<0.3 nm,高反射率(接近 100%).最后采用快速原子束刻蚀技术制备出了可见光波段下的氧化铝材料导模共振滤波器.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张伟	南京邮电大学电子与光学工程学院	66	273	9.0	13.0
2	胡芳仁	南京邮电大学电子与光学工程学院	33	91	5.0	8.0
3	郭俊宏	南京邮电大学电子与光学工程学院	7	3	1.0	1.0
4	张雪花	南京邮电大学电子与光学工程学院	3	1	1.0	1.0
5	陆志成	南京邮电大学电子与光学工程学院	2	1	1.0	1.0
6	张雨茜	南京邮电大学电子与光学工程学院	2	1	1.0	1.0