PbZr0.3Ti0.7O3薄膜退火工艺优化及铁电畴结构表征

• 作者: 丑修建 乔骁骏 耿文平
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 铁电薄膜 PZT 溶胶-凝胶 退火 铁电畴
• 年，卷（期）: 2018,（10）
• 所属期刊栏目: 加工、测量与设备
• 页码范围: 746-750
• 页数: 5页
• 分类号: TN384|TN304.9
• 语种: 中文
• DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2018.10.008

摘要

采用溶胶-凝胶工艺研究了不同退火温度和气氛下PbZr0.3Ti0.7O3 (PZT)薄膜的晶格结构和表面形貌.在空气中600～700℃退火时,薄膜完全结晶,结晶取向由(100)方向逐渐向(111)方向过渡,且结晶度增强;温度继续升高,薄膜发生热分解,结晶性变差,但700℃时晶体仍为纯钙钛矿相结构,800℃时薄膜转变为非晶态.采用不同气氛退火方式研究了薄膜的结晶行为,通过调控氧空位实现对薄膜结晶性调控,优化了PZT薄膜退火工艺(即空气或氮气中700℃退火);对退火工艺优化后制备的(111)择优取向PZT薄膜进行了面外和面内铁电畴成像,分析了薄膜中180°铁电畴的存在形式.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	耿文平	中北大学仪器与电子学院仪器科学与动态测试教育部重点实验室	7	2	1.0	1.0
2	丑修建	中北大学仪器与电子学院仪器科学与动态测试教育部重点实验室	49	225	9.0	13.0
3	乔骁骏	中北大学仪器与电子学院仪器科学与动态测试教育部重点实验室	3	3	1.0	1.0