含氟电子气体纯化方法探讨与展望

• 作者: 任昊 杨会娥 马立博 齐仲龙
• 来源期刊: 有机氟工业
• 关键词: 含氟电子气体 纯化 低温精馏 吸附
• 年，卷（期）: 2018,（1）
• 所属期刊栏目: 专论与综述
• 页码范围: 32-35
• 页数: 4页
• 语种: 中文

摘要

电子气体是现代化电子工业发展的重要生产原料,随着电子工业的高速发展,对电子气体的纯度要求也越来越高.较为详细地论述了低温精馏、吸附、膜分离等方法在含氟电子气体制备方面的应用,并对其发展趋势进行展望.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨会娥		26	26	4.0	5.0
2	齐仲龙		3	0	0.0	0.0
3	任昊		1	0	0.0	0.0
4	马立博		1	0	0.0	0.0