离子镀过程中基体“热影响区”的演变及其对镀层的影响

• 作者: 张新宇 李洪涛 蒋百灵 邢益彬 郭腾
• 来源期刊: 金属学报
• 学科: 工学
• 关键词: 离子镀技术 热影响区 Ti镀层 组织结构 内应力
• 年，卷（期）: 2018,（3）
• 页码范围: 463-469
• 页数: 7页
• 分类号: TG174.4
• 语种: 中文
• DOI: 10.11900/0412.1961.2017.00121

摘要

以淬火态40CrNiMoA为基材,研究了靶功率密度对“热影响区”升温幅度、区域尺度及镀层结构的影响规律.结果表明,随着靶功率密度从20.61 W/cm2提高到143.01 W/cm2,不仅与镀层比邻的基体温度从310℃升高到525℃、“热影响区”的尺度从0.37 mm增加到2.51 mm,而且纯Ti镀层的择优取向由(002)转变为(110),平均晶粒尺寸由9.9 nm增大至19.5 nm,表面粗糙度先减小后增大.同时,当基体温度大于300℃时,镀层的内应力随着晶格微观缺陷的消除而释放.